HIWIN上銀晶圓機器人中的各關(guān)鍵零組件，如滾珠絲杠、直驅(qū)電機等，皆由HIWIN上銀自行研發(fā)制造，取件直接，軟硬件垂直整合，可提供高質(zhì)量的上銀晶圓機器人，提升您的競爭力，且可依客戶生產(chǎn)需求提供客制化服務(wù)。

 


HIWIN晶圓機器人
關(guān)鍵零組件
100%上銀自制
滾珠絲桿，直線導(dǎo)軌，軸承，DD馬達/直驅(qū)馬達，AC私服電機，控制器


特色

●采用HIWIN直驅(qū)馬達，重復(fù)精度小于土0.1mm

●高空間使用率，回轉(zhuǎn)半徑小


產(chǎn)業(yè)應(yīng)用及案例
廣泛應(yīng)用于

●半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(晶圓、Frame)

●LED產(chǎn)業(yè)(藍寶石基板、擴晶環(huán))

●光電產(chǎn)業(yè)(小型面板、光伏片)
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) - 晶圓搬運
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) - 晶圓翻轉(zhuǎn)搬運
LED產(chǎn)業(yè) - 藍寶石基板搬運
LED產(chǎn)業(yè) - Grip Ring(擴晶環(huán))搬運
光電產(chǎn)業(yè) - 小型面板搬運